Material puro cilíndrico del circonio de la blanco TA1 de la farfulla del titanio

Blanco aputtering del titanio del diámetro 60/65/95/100*30/32/40/45m m

Blanco redonda modificada para requisitos particulares del titanio de la blanco del titanio

Proveeremos generalmente de un informe de inspección de la calidad como esto las mercancías,

cuál muestra la composición química y las propiedades físicas

Blanco cuadrada del titanio de la fuente, blanco redonda del titanio, blanco especial-formada titanio

La pureza es uno de los indicadores de funcionamiento principales de la blanco,

porque la pureza de la blanco tiene una gran influencia en el funcionamiento de la película fina.

Los requisitos de funcionamiento principales de la blanco:
pureza
La pureza es uno de los indicadores de funcionamiento principales de la blanco, porque la pureza de la blanco tiene una gran influencia en el funcionamiento de la película fina. Sin embargo, en usos prácticos, los requisitos para la pureza de la blanco no son lo mismo. Por ejemplo, con el desarrollo rápido de la industria de la microelectrónica, el tamaño de la oblea de silicio se ha desarrollado a partir de la 6", 8" a 12", y la anchura del cableado se ha reducido de 0.5um a 0.25um, a 0.18um o aún a 0.13um. Previamente, la pureza de la blanco era 99,995%. Puede cumplir los requisitos de proceso de 0.35um IC, mientras que la preparación de las líneas 0.18um requiere 99,999% o aún 99,9999% para la pureza del material de blanco.
Contenido de impureza
Las impurezas en sólidos de la blanco y oxígeno y humedad en poros son las fuentes principales de contaminación para las películas depositadas. Las blancos de diversas aplicaciones tienen diversos requisitos para diverso contenido de impureza. Por ejemplo, las blancos puras del aluminio y de la aleación de aluminio usadas en la industria del semiconductor tienen requisitos especiales para el contenido alcalino-metálico y el contenido del elemento radiactivo.
densidad
Para reducir los poros en el sólido de la blanco y mejorar el funcionamiento de la película farfullada, la blanco se requiere generalmente para tener un más de alta densidad. La densidad de la blanco afecta no sólo al índice de la farfulla, pero a las propiedades también eléctricas y ópticas de la película. Cuanto más alta es la densidad de la blanco, mejor es el funcionamiento de la película. Además, el aumento de la densidad y de la fuerza de la blanco permite que la blanco soporte mejor la tensión termal durante la farfulla. La densidad es también uno de los indicadores de rendimiento clave de la blanco.
Tamaño de grano y distribución dimensional de grano
El material de blanco está generalmente de estructura policristalina, y el tamaño de grano puede estar en el orden de micrómetros a los milímetros. Para el mismo material de blanco, el índice de la farfulla de la blanco con los granos finos es más rápido que el de la blanco con los granos gruesos; mientras que la distribución del grueso de la película fina depositada farfullando de la blanco con una diferencia más pequeña del tamaño de grano (distribución uniforme) es más uniforme.