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Blanco redonda modificada para requisitos particulares del titanio de la blanco del titanio

Proveeremos generalmente de un informe de inspección de la calidad como esto las mercancías,

cuál muestra la composición química y las propiedades físicas

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La pureza es uno de los indicadores de funcionamiento de la blanco.

La pureza del material de blanco tiene un gran efecto sobre el funcionamiento de la película.

Requisitos de funcionamiento principales para las blancos:

Pureza

La pureza de la blanco es uno de los indicadores de funcionamiento principales de la blanco porque la pureza de la blanco afecta grandemente al funcionamiento de la película. Sin embargo, en usos reales, los requisitos para la pureza del material de blanco no son lo mismo. Por ejemplo, con el desarrollo rápido de la microelectrónica la industria que el tamaño de la oblea de silicio fue ampliado a partir de la 6", 8" a 12", la anchura de conexión fue reducida a partir de la 0,5 um a 0,25 um, a 0,18 um, y a 0,13 um. Previamente, la pureza de la blanco era 99,995%.

Contenido de impureza

La fuente principal de la película depositada es el oxígeno y la humedad de los sólidos y de los poros de la blanco. Las blancos para los diversos usos tienen diversos requisitos para diversos niveles de impureza. Por ejemplo, las blancos de las aleaciones de aluminio y de aluminio puras usadas en la industria del semiconductor tienen requisitos especiales para el contenido alcalino-metálico y el contenido del elemento radiactivo.

Densidad

Para reducir los poros de los sólidos de la blanco y mejorar el funcionamiento de películas farfulladas, las blancos necesitan típicamente ser más denso. La densidad de la blanco afecta no sólo a la tarifa de la farfulla pero a las propiedades también eléctricas y ópticas de la película. Cuanto más alta es la densidad de la blanco, mejor es el funcionamiento de la película. Además, cuando se aumentan la densidad de la blanco y la intensidad, la blanco puede soportar la tensión termal durante la farfulla. La densidad es uno de los indicadores de funcionamiento de la blanco.

Tamaño de grano y distribución dimensional

La blanco es generalmente policristalina, y el tamaño de partícula puede estar en el orden de micrómetros al milímetro. En el caso de la misma blanco, el índice de la farfulla de la blanco de grano fino es más rápido que el índice de la farfulla de la blanco de grano grueso, mientras que farfulle la deposición de la blanco del tamaño de una partícula más pequeña (distribución uniforme) tiene una distribución uniforme del grueso (uniforme). Distribución.